碾(nian)磨液(ye)碾(nian)磨剤(ji)の機(ji)能(neng)は、被碾(nian)磨物であるワークの表(biao)層の鼓(gu)起を消去して、ワーク接觸面(mian)層の溝(gou)壑性を向前させることである。 たとえば、外界を再生利用して半(ban)導(dao)體ウェーハを碾(nian)磨する場合、碾(nian)磨剤(ji)はウェーハの接觸面(mian)層で藥(yao)劑學(xue)反応によって生成二維(wei)碼されたパッシベーション層を消去して、作用の溝(gou)壑度を処理します。 現在(zai)、通常情況下的に的使用されている碾(nian)磨剤(ji)は、シリカコロイド、硝(xiao)化作用ボウル、アルミナ、ナノダイヤモンドです。

腐食性(xing)媒介(jie)渠道には、主に酸とアルカリが含まれます。

偏酸(suan)磨細(xi)(xi)機(ji)(ji)液は、腐(fu)食性(xing)の役割(ge)を果たし、磨細(xi)(xi)機(ji)(ji)プロセスの拋開率を高める可(ke)能會性(xing)のある有機(ji)(ji)酸(suan)を運(yun)行的することがよくありますが、腐(fu)食性(xing)が高く、選択性(xing)が低く、高い磨細(xi)(xi)機(ji)(ji)儀器(qi)が用得著です。銅、タングステン、その他の合金裝修材料の磨細(xi)(xi)機(ji)(ji)によく運(yun)行的されます。

現(xian)在、強酸研磨(mo)機液には2種類の有機酸が便(bian)用されています。

1つは多官能(neng)基を持つアミノ酸(suan)で、もう1つは単純フシジン酸(suan)、軽フシジン酸(suan)、および両方(fang)の混雜酸(suan)から選(xuan)択(ze)されます。

この科學(xue)深入(ru)分析では、2種(zhong)類(lei)の有(you)機(ji)酸(suan)(suan)の分層物を的(de)(de)運行した磨(mo)細(xi)液(ye)の剔除(chu)率(lv)は、いずれかの種(zhong)類(lei)の有(you)機(ji)酸(suan)(suan)を単獨で的(de)(de)運行した磨(mo)細(xi)液(ye)の剔除(chu)率(lv)よりも高(gao)いことがわかっています。さらに、いくつかの科學(xue)深入(ru)分析では、磨(mo)細(xi)液(ye)のpH値(zhi)の増加(jia)に伴い、電化學(xue)磨(mo)細(xi)が二級的(de)(de)な役割を果たし、機(ji)械的(de)(de)磨(mo)細(xi)が主宰(zai)的(de)(de)な役割を果たすため、磨(mo)細(xi)されるワークピースの表面(mian)上の品質が欠缺することが示されています。調整のために有(you)機(ji)酸(suan)(suan)を追加(jia)する需要があります。

   アルカリ性(xing)碾(nian)磨(mo)(mo)機(ji)(ji)液(ye)は、應(ying)該に、水(shui)堿化(hua)(hua)ナトリウム、水(shui)堿化(hua)(hua)カリウム、有機(ji)(ji)アミンなどのアルカリ性(xing)物質(zhi)を選択して、碾(nian)磨(mo)(mo)機(ji)(ji)液(ye)の弱酸性(xing)度(du)およびアルカリ性(xing)を調整する。アルカリ性(xing)碾(nian)磨(mo)(mo)機(ji)(ji)液(ye)は腐食が少(shao)なく、選択性(xing)が高(gao)いため、シリコン、堿化(hua)(hua)物、フォトレジスト產(chan)品(pin)などの非復合產(chan)品(pin)の碾(nian)磨(mo)(mo)機(ji)(ji)によく應(ying)用されます。しかし、アルカリ性(xing)の碾(nian)磨(mo)(mo)機(ji)(ji)液(ye)で堿化(hua)(hua)電位の高(gao)い堿化(hua)(hua)剤(ji)(ji)を見(jian)つけることは最易ではなく、碾(nian)磨(mo)(mo)機(ji)(ji)効果に影響を與(yu)えます。  應(ying)該的な加上(shang)剤(ji)(ji)には、堿化(hua)(hua)剤(ji)(ji)、潤滑(hua)剤(ji)(ji)、腐食以防(fang)止剤(ji)(ji)、分散型剤(ji)(ji)などがあります。

硝(xiao)化(hua)作用(yong)(yong)剤(ji)(ji)は、打(da)磨(mo)ワークピースの面(mian)に硝(xiao)化(hua)作用(yong)(yong)膜を型成(cheng)できます。これは、後続の機(ji)械打(da)磨(mo)に越(yue)來越(yue)有(you)利であり、それによって打(da)磨(mo)効率と面(mian)陡峭(qiao)性が向左します。潤滑剤(ji)(ji)は、打(da)磨(mo)プロセス中の打(da)磨(mo)物質と打(da)磨(mo)ワークピースの面(mian)間の擠壓を減(jian)(jian)らすために采(cai)用(yong)(yong)されます。腐食(shi)(shi)剤(ji)(ji)が適(shi)切(qie)な濃度(du)と形態で環境（新聞(wen)媒介(jie)）に出(chu)現する場合、建(jian)筑(zhu)(zhu)用(yong)(yong)料(liao)の腐食(shi)(shi)を放(fang)置(zhi)または減(jian)(jian)速(su)できます。それを単獨で、またはいくつかの腐食(shi)(shi)放(fang)置(zhi)剤(ji)(ji)と組み合わせて采(cai)用(yong)(yong)できます。不(bu)集中剤(ji)(ji)は、打(da)磨(mo)離子間の反発力を高めることができます。不(bu)同の打(da)磨(mo)剤(ji)(ji)の再結合を放(fang)置(zhi)して、打(da)磨(mo)液の安定性を確保し、ワークピースの面(mian)欠陥を減(jian)(jian)らします。添加圖片(pian)物の選択は越(yue)來越(yue)に關鍵(jian)性です。有(you)部の設計(ji)者は、従來の金屬質の腐食(shi)(shi)放(fang)置(zhi)剤(ji)(ji)としてベンゾトリアゾールを采(cai)用(yong)(yong)すると、建(jian)筑(zhu)(zhu)用(yong)(yong)料(liao)の面(mian)のたるみを較(jiao)大に低(di)減(jian)(jian)し、表面(mian)度(du)を解決し、有(you)機(ji)存留物を低(di)減(jian)(jian)できることを発見しました。

同時に、佐(zuo)藤栄(rong)一氏は、有(you)機化(hua)學機械研磨機水溶液の“增(zeng)添圖(tu)片(pian)剤(ji)は次の環(huan)境を満たす必須(xu)があると考えています。1）“增(zeng)添圖(tu)片(pian)剤(ji)碳(tan)原子(zi)(zi)は1つ上述の環(huan)狀官能(neng)基(ji)と碳(tan)原子(zi)(zi)構造內に少なくとも1つのCC結合を持っている。2）“增(zeng)添圖(tu)片(pian)剤(ji)碳(tan)原子(zi)(zi)これには、少なくとも1つの-OH官能(neng)基(ji)と非常大1つの-COOH官能(neng)基(ji)が含まれます。