磨細(xi)液磨細(xi)剤の機能は、被磨細(xi)物であるワークの表層の凸起來(lai)を洗去(qu)して、ワーク的(de)表面上の陡峭性を向(xiang)下させることである。 たとえば、作(zuo)用(yong)力(li)を應用(yong)して半導體ウェーハを磨細(xi)する場合、磨細(xi)剤はウェーハの的(de)表面上で化學工(gong)業反応によって提取されたパッシベーション層を洗去(qu)して、效果(guo)の陡峭度を処理します。 現在(zai)、應該的(de)に用(yong)されている磨細(xi)剤は、シリカコロイド、硝化作(zuo)用(yong)ボウル、アルミナ、ナノダイヤモンドです。

腐食(shi)性(xing)自媒(mei)體には、主に酸(suan)とアルカリが含まれます。

偏酸打(da)(da)磨(mo)液(ye)は、腐(fu)食性(xing)(xing)の役割(ge)を果たし、打(da)(da)磨(mo)プロセスの出(chu)掉率を高(gao)める可能性(xing)(xing)就(jiu)會性(xing)(xing)のある有機(ji)酸を實用することがよくありますが、腐(fu)食性(xing)(xing)が高(gao)く、選択性(xing)(xing)が低く、高(gao)い打(da)(da)磨(mo)部件が有必(bi)要(yao)です。銅、タングステン、その他の金屬板(ban)材板(ban)材の打(da)(da)磨(mo)によく實用されます。

現(xian)在、弱酸性研磨拋光液には2種類の有機酸が用(yong)されています。

1つは多官能基を持つアミノ酸(suan)で、もう1つは単純(chun)フシジン酸(suan)、軽(qing)フシジン酸(suan)、および両方(fang)の結合酸(suan)から選択されます。

この探(tan)討では、2種類の有(you)機酸の分層(ceng)物(wu)を適用した磨(mo)細液(ye)の出(chu)掉率は、いずれかの種類の有(you)機酸を単獨で適用した磨(mo)細液(ye)の出(chu)掉率よりも高いことがわかっています。さらに、いくつかの探(tan)討では、磨(mo)細液(ye)のpH値の増加に伴い、化學物(wu)質磨(mo)細が2次的な役割を果(guo)(guo)たし、機械的磨(mo)細が主宰的な役割を果(guo)(guo)たすため、磨(mo)細されるワークピースの表面能の品質が較弱することが示(shi)されています。調整のために有(you)機酸を追加する必須があります。

   アルカリ性精(jing)磨(mo)液(ye)は、一半的(de)に、水過(guo)(guo)(guo)酸(suan)(suan)ナトリウム、水過(guo)(guo)(guo)酸(suan)(suan)カリウム、有(you)機アミンなどのアルカリ性物(wu)(wu)質(zhi)を選択して、精(jing)磨(mo)液(ye)の呈酸(suan)(suan)性度およびアルカリ性を調整する。アルカリ性精(jing)磨(mo)液(ye)は腐食が少なく、選択性が高(gao)(gao)いため、シリコン、過(guo)(guo)(guo)酸(suan)(suan)物(wu)(wu)、フォトレジスト相關(guan)素(su)材(cai)などの非不銹鋼相關(guan)素(su)材(cai)の精(jing)磨(mo)によく運行されます。しかし、アルカリ性の精(jing)磨(mo)液(ye)で過(guo)(guo)(guo)酸(suan)(suan)電(dian)位の高(gao)(gao)い過(guo)(guo)(guo)酸(suan)(suan)剤(ji)を見つけることは簡單ではなく、精(jing)磨(mo)効果に影(ying)響(xiang)を與(yu)えます。  一半的(de)的(de)な加入剤(ji)には、過(guo)(guo)(guo)酸(suan)(suan)剤(ji)、潤滑(hua)剤(ji)、腐食以(yi)防止剤(ji)、分散(san)式剤(ji)などがあります。

過酸剤(ji)(ji)は、考慮(lv)ワークピースの從(cong)(cong)表皮に過酸膜を造成(cheng)できます。これは、後続(xu)の機械(xie)考慮(lv)に有(you)(you)利(li)于であり、それによって考慮(lv)効率と從(cong)(cong)表皮AA性が向前します。潤滑剤(ji)(ji)は、考慮(lv)プロセス中(zhong)の考慮(lv)物(wu)質と考慮(lv)ワークピースの從(cong)(cong)表皮間の耐摩擦を減らすために采(cai)用されます。腐食(shi)剤(ji)(ji)が適切な濃度と形態で環(huan)境（新(xin)媒體）に出現する場合(he)、涂料の腐食(shi)を杜(du)絕(jue)または減速(su)できます。それを単(dan)獨で、またはいくつかの腐食(shi)杜(du)絕(jue)剤(ji)(ji)と組み合(he)わせて采(cai)用できます。減少剤(ji)(ji)は、考慮(lv)微粒(li)間の反(fan)発力を高(gao)めることができます。不同の考慮(lv)剤(ji)(ji)の再結合(he)を杜(du)絕(jue)して、考慮(lv)液の安定(ding)性を確保し、ワークピースの從(cong)(cong)表皮欠陥を減らします。獲取物(wu)の選択は很(hen)に重要的です。部の探(tan)析者は、従來(lai)の金屬原料の腐食(shi)杜(du)絕(jue)剤(ji)(ji)としてベンゾトリアゾールを采(cai)用すると、涂料の從(cong)(cong)表皮のたるみを大面積(ji)的に低(di)減し、平(ping)行面度を改(gai)變し、有(you)(you)機雜質物(wu)を低(di)減できることを発見しました。

同時(shi)に、佐藤栄一(yi)氏は、化(hua)學物質(zhi)機(ji)械機(ji)磨氫(qing)氧化(hua)鈉溶液の增加(jia)剤(ji)(ji)は次(ci)の能(neng)(neng)力を満たす用不著があると考えています。1）增加(jia)剤(ji)(ji)原子は1つ往(wang)上の環狀官能(neng)(neng)基(ji)と原子構造內に少なくとも1つのCC結合(he)を持っている。2）增加(jia)剤(ji)(ji)原子これには、少なくとも1つの-OH官能(neng)(neng)基(ji)と最主(zhu)要(yao)1つの-COOH官能(neng)(neng)基(ji)が含まれます。